ASTM F534-2002a 硅片弯曲标准试验方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-17 09:55:49 浏览:8999
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforBowofSiliconWafers
【原文标准名称】:硅片弯曲标准试验方法
【标准号】:ASTMF534-2002a
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;试验
【英文主题词】:bow;silicon;wafers
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversdeterminationoftheaverageamountofbowofnominallycircularsiliconwafers,polishedorunpolished,inthefree(non-clamped)condition.1.2T
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:3P.;A4
【正文语种】:
【原文标准名称】:硅片弯曲标准试验方法
【标准号】:ASTMF534-2002a
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;试验
【英文主题词】:bow;silicon;wafers
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thistestmethodcoversdeterminationoftheaverageamountofbowofnominallycircularsiliconwafers,polishedorunpolished,inthefree(non-clamped)condition.1.2T
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:3P.;A4
【正文语种】:
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